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陶瓷研磨盘
所属分类：
工业陶瓷
关键词：
陶瓷研磨盘
陶瓷研磨盘
产品描述：
用于半导体硅片研磨、单晶硅的加工领域等。
产品特点：
采用陶瓷研磨盘研磨半导体硅片成为目前最科学的研磨方法。在半导体硅片的生产中采用双面研磨工 艺对切割好的硅片进行研磨，通过改善研磨工艺(磨盘材质、研磨液、研磨压力及研磨转速等)来提高研 磨片的质量；使用陶瓷盘代替铸铁盘，避免研磨时对晶片的主面造成伤痕或污染，减少了金属离子的引 入，可减少硅片的后续加工量，缩短了后续工序(腐蚀)时间，提高了生产效率，减少了硅片加工的损耗，提高了硅片的利用率。
技术指标：
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性能 |
淄博鸿润 |
国内水平 |
国外水平 |
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密度(g/cm3) |
3.98 |
3.80-3.93 |
3.9-3.95 |
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纯度(%) |
99.9 |
98-99.8 |
99.5-99.9 |
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维氏硬度(GPa) |
17 |
13-15 |
16-17.5 |
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三点抗弯强度(MPa) |
530 |
300-350 |
320-400 |
产品规格：
②850mm、 厚45mm 以下的高纯氧化铝圆盘、圆环等(尺寸定制加工)
我司还可以生产以下规格的高端陶瓷：
1、1500×600×25mm 以下的长板、长条、方板、薄板；
2、1000×45×45mm 以下的导轨；
3、0800×1000mm 以下的空管、圆柱体、电真空管等；
4、 各种形状的异形件定制产品。
我们的优势：
淄博鸿润可提供不同的耐磨陶瓷技术解决方案。
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